仪器的基本信息：

　　仪器名称：离子溅射镀膜仪

　　型    号：EM ACE200

　　制 造 商：徕卡

　　产    地：奥地利

　　购买年份：2015年

　　存放地点：公共实验平台

　　管理人员：陈丽

　　联系电话：027-87700819

仪器用途：

　　可满足多种样品的镀膜需求，提高扫描电镜下的成像质量。

仪器的技术参数：

　　1、操作参数：

　　溅射电流0-150mA；溅射时间1-999秒；

　　2、控制系统

　　内置式触摸屏控制面板；自动镀膜；

　　3、镀膜仪功能

　　金属溅射镀膜，功能可选方向性或弥散性；带有氩气灌洗功能；带有预溅射功能；

　　4、样品室

　　内径：宽140*深145*高150mm；工作距离30-100mm；标准工作台80mm，可插入18SEM样品座；

　　5、真空泵

　　二级真空旋转泵，金属连接管，带有油污过滤器；

　　6、系统维护与清洁

　　样品室舱门、样品室内壁金属保护罩、镀膜挡板、靶材、样品台都可简易拆卸、清洁。