仪器的技术参数:
1 观测模式:标准模式、减轻荷电模式;
2 观测倍率:低真空模式下光学放大倍率15x-60,000x;
3 加速电压:电子束能量强度可调15KV、5KV、EDX;
4 检测器:高灵敏度4分割半导体背散射电子检测器;
5 样品最大尺寸:Φ70 mm,δ50 mm;移动范围:±17.5mm(X)×±17.5mm(Y);
6 数据显示:放大倍率、标尺、电压、日期、时间、图像号码等注释;
7 分子泵1台;隔膜泵1台;
8 图像最大存储像素:1280 x 960像素;图像存储格式:BMP、TIFF、JPEG。