仪器的基本信息：

　　仪器名称：日立离子溅射镀膜仪

　　型    号：MC1000

　　制 造 商：日立

　　产    地：日本

　　购买年份：2015年

　　存放地点：公共实验平台

　　管理人员：陈 丽

　　联系电话：027-87700819

　　仪器用途：

　　可满足多种样品的镀膜需求，提高扫描电镜下的成像质量。

　　仪器的技术参数：

　　1 放电类型：磁控二极管放电类型；

　　2 放电电压：最大0.4KV，直流可调；

　　3 放电电流：最大40mA，直流可调；

　　4 Au镀膜速率：15nm/min；

　　5 Au（进口）纯度：99.99%；

　　6 气压调节控制：7Pa-20Pa；

　　7 样品室尺寸：Φ100mm，H80mm。

　　2.8最大样品尺寸：Φ 60 mm，δ 20 mm

　　2.9 机械泵抽速： 135L/min（50Hz）